Láminas Delgadas y Recubrimientos
Preparación, Propiedades y Aplicaciones
Jose Maria Albella Martin
En los últimos años, la tecnología de recubrimientos y capas delgadas ha alcanzado un fuerte desarrollo debido a la gran variedad de aplicaciones, que van desde los recubrimientos protectores y decorativos utilizados en la industria mecánica y del automóvil hasta las capas selectivas empleadas en paneles arquitectónicos, filtros ópticos, incluyendo las películas semiconductoras...
En los últimos años, la tecnología de recubrimientos y capas delgadas ha alcanzado un fuerte desarrollo debido a la gran variedad de aplicaciones, que van desde los recubrimientos protectores y decorativos utilizados en la industria mecánica y del automóvil hasta las capas selectivas empleadas en paneles arquitectónicos, filtros ópticos, incluyendo las películas semiconductoras, optoelectrónicas y magnéticas, etc. Todo este desarrollo ha sido posible gracias a los avances recientes, tanto en la tecnología de vacío como en las técnicas de deposición, de análisis de superficies y de caracterización eléctrica, mecánica y óptica. Este libro tiene, pues, un carácter multidisciplinar y pretende dar una visión general de todos estos aspectos, básicos y aplicados, que constituyen lo que ha venido en denominarse como "Ciencia y Tecnología de Capas Delgadas". El libro está escrito en un lenguaje sencillo, aunque sin perder el rigor necesario, con objeto de que pueda llegar a estudiantes y técnicos de la industria interesados en adquirir una formación en estos problemas desde los primeros niveles.
Reseña del Editor
I. GENERALIDADES.- Introducción: ciencia y tecnología de capas delgadas.- 1. Tecnología de vacío.- 2. Descargas eléctricas en gases: plasmas.- 3. Mecanismos de nucleación y crecimiento de capas delgadas.- II. PREPARACIÓN DE CAPAS DELGADAS.- 4. Evaporación térmica y otras técnicas de evaporación.- 5. Deposición mediante pulverización catódica ("sputtering").- 6. Depósito y modificación de capas mediante haces de iones.- 7. Epitaxia por haces moleculares (molecular beam epitaxy) MBE.-8. Depósito por láser pulsado (PLD).- 9. Preparación de recubrimientos mediante deposición química en fase vapor (CVD).- 10. Técnicas de CVD asistidas por plasma (PECVD) y láser.- 11. Preparación de recubrimientos mediante deposición química en fase líquida.- 12. Preparación de recubrimientos por sol-gel.- III. CARACTERIZACIÓN DE CAPAS DELGADAS.- 13. Medida del espesor y análisis de la rugosidad.- 14. Métodos ópticos.- 15. Técnicas de difracción de rayos X.- 16. Espectroscopías electrónicas.- 17. Análisis con haces de iones: RBS, ERDA, PIXE, NRA y SIMS.- 18. Técnicas de caracterización con radiación sincrotrón.- 19. La microscopía para el estudio de materiales y láminas delgadas.- 20. Caracterización mecánica de los recubrimientos.- IV. PROPIEDADES Y APLICACIONES.- 21. Aplicaciones mecánicas de los recubrimientos.- 22. Aplicaciones químicas de los recubrimientos: protección contra la corrosión.- 23. Aplicaciones en microelectrónica y fotónica.- 24. Propiedades ópticas de capas delgadas. Aplicaciones.- 25. Aplicaciones de las láminas delgadas en óptica integrada.- 26. Propiedades y aplicaciones magnéticas.- Índice de materias.
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